ISO 13694 目前有效版本為 ISO 13694:2018(第 3 版),2023 年再次確認(rèn)繼續(xù)有效 。
標(biāo)準(zhǔn)全稱:
Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment — Test methods for laser beam power (energy)
density distribution
(光學(xué)與光子學(xué)——激光及激光相關(guān)設(shè)備——激光束功率(能量)密度分布的試驗(yàn)方法)
適用范圍
適用于連續(xù)波(CW)和脈沖激光束;
規(guī)定在某一給定橫截面上測(cè)量激光功率(能量)密度分布的方法;
可用于激光器性能測(cè)試、光學(xué)元器件檢測(cè)以及激光加工、醫(yī)療、通信等應(yīng)用領(lǐng)域 。
主要技術(shù)內(nèi)容
測(cè)量原理
在垂直于傳播方向的平面內(nèi),獲取功率密度(CW)或能量密度(脈沖)隨橫向坐標(biāo)的分布??刹捎梦宸N常用手段:
一維/二維相機(jī)陣列、可變孔徑、針孔、狹縫和刀口法 。
關(guān)鍵定義與參數(shù)
功率(能量)密度分布、最大值、剪切級(jí)(clip-level)密度;
剪切級(jí)功率(能量)、分?jǐn)?shù)功率(能量)、重心、束寬、橢圓度、均勻性、平臺(tái)均勻性、邊緣陡度等 。
測(cè)量與評(píng)價(jià)流程
坐標(biāo)系與測(cè)試布置(探測(cè)器、衰減器、環(huán)境控制);
探測(cè)器空間與功率(能量)校準(zhǔn);
背景噪聲扣除(背景圖或平均背景減法);
選取積分限、優(yōu)化背景修正;
計(jì)算上述空間特性參數(shù)并編制測(cè)試報(bào)告 。
與其他標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系
引用 ISO 11145(術(shù)語符號(hào))、ISO 11146(束寬與 M2)、ISO 11554(功率能量時(shí)域特性)及 IEC 61040(探測(cè)器規(guī)范)。
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